OLED LCD 공정

전공정 - 증착공정 - 봉지공정 - 후공정 - 모듈공정

 

<전공정 : 입고된 TFT 기판 위에 Bank 및 Spacer Pattern을 형성하기 위한 공정>

1. TFT입고

2. Glass ID Marking : 공정 중 각 장비의 Glass 인식을 위한 ID Marking [Titler]

3. 세정/건조 : TFT 백플레인 위의 이물을 제거하기 위한 세정, 건조 [초기세정기]

4. 검사 Inspection : TFT 패턴 불량 검사 [PTN 검사기, Mac/Mic검사기]

5. Bank 형성 : Pixel Define을 위한 Bank 형성 공정. 빛이 나오는 영역을 define해준다. 개구율 확정. [Photo]

-PI Coating 폴리이미드

-EBR edge back remover

-soft bake

-exposure

-develop

6. 패턴 검사 Inspection : bank 불량을 검사 [PTN 검사기, Mac/Mic검사기]

7. Curing : bank를 Thermal Curing 하는 공정 [Curing 장비]

8. Spacer 형성 : Fine metal mask와 Pixel Contact 방지를 위한 spacer 형성 공정 [Photo]

9. 패턴 검사 Inspection : spacer 검사 [PTN 검사기, Mac/Mic검사기]

10. Curing : Spacer를 Thermal curing 하는 공정 [Curing 장비]

11. 증착 전 세정 : OLED 증착 공정 전 최종 이물 제거 공정 [증착전세정기]

 

<증착공정 : 발광역할을 하는 OLED 소자 구조를 형성하는 공정>

1. 증착 전 세정

2. Glass Loading : 증착 전 세정이 끝난 TFT Glass를 증착 장비 Loader로 투입 [증착 Loader]

3. Pre-treatment : 증착 전 기판 표면 처리 공정 진행, 표면 개질, 이물 제거 [Plasma Chamber]

-산소, 아르곤 가스 등에 RF Power를 인가시켜 생성된 플라즈마를 이용해서 기판 표면에 있는 O,C,N 등의 유기물을 제거

4. Organic Layer 증착 : 다층의 유기막을 순차적으로 진공증착법으로 형성 [유기 증착 Chamber]

-HIL 증착

-HTL 증착

-EML RGB 증착/doping layer 적용/fine metal mask 사용

-ETL 증착 

5. Metal Layer 증착 : 전극 역할의 금속막을 진공증착법으로 형성 [금속 증착 Chamber]

6. P-aging : 증착 후 표면 처리 공정 [P-aging 장비]

7. 봉지공정

 

*Thin Film Deposition?

: 진공 중에서 코팅시키고자 하는 물질을 기화 또는 승화시켜 원자 또는 분자 단위로 기판 표면에 응고시켜 피막을 형성하는 방법

 

*진공?

: 임의의 공간 내에 어떠한 입자도 존재하지 않는 상태

 

*증착공정이 고 진공상태에서 진행되는 이유?

: Mean Free Path 확보를 통한 증착 효율 및 증착 균일도 확보, 청결도 확보 표면오염방지 및 고순도유지

 

*MFP : 진공 중 한 개의 입자가 다른 입자와 충돌하지 않고 이동할 수 있는 거리

 

*증착 막 두께 제어를 위해 단위 시간 당 기판에 증착되는 재료의 양 제어가 필요하다. = 증착 rate 제어

 

*증착 rate 제어 시스템 [단위: 옹스트롬/sec]

- Sensor

- Thickness Controller

- PID Controller

- Power Supply 

 

 

*OLED Patterning

RGB 독립 증착	WOLED + CF
1. 가장 안정적인 패터닝 방식 -> 양산 제품 적용 방식 2. OLED 재료가 가장 많이 개발되어있음 3. FMM 제작 정밀도 및 대형화가 어려워 고해상도, 대형제품에 적용하기 어려움	1. 대형, 고해상도 제품에 적용 가능 2. FMM을 사용하지 않으므로 장비구조가 단순하고 mask, particle 등에 의한 불량이 적어서 수율이 높다 3. 효율 증가를 위해 OLED 소자를 다층구조로 제작 (Tandem structure)

 

FMM : fine metal mask

LITI : laser induced thermal imaging

LIPS : laser induced pattern-wise sublimation